Введение
Печь вакуумного физического осаждения пара (PVD) представляет собой высокопроизводительное оборудование, специально предназначенное для отложения тонких пленок и покрытий на широкий спектр материалов. Используя передовые вакуумные технологии в сочетании с физическими процессами осаждения из паров, такими как испарение, распыление и осаждение дуги, эта печь обеспечивает превосходную пленку, однородность и чистоту.
Идеально подходит для таких отраслей, как производство полупроводников, покрытие для инструментов и матрицы, оптические покрытия, автомобильные детали и аэрокосмические компоненты, вакуумная печь PVD предлагает экономически эффективное и высококачественное решение для современных требований к поверхности.
Ключевые функции
1. Усовершенствованная вакуумная система
Достигает высоких уровней вакуума до 1 × 10⁻⁴ PA, обеспечивая минимальное загрязнение и повышенную чистоту пленки.
Оснащен высокоэффективными вакуумными насосами, такими как турбомолекулярные насосы, диффузионные насосы и сухие насосы.
Стабильная вакуумная среда, критическая для достижения высококачественных покрытий без дефектов.
✔ Преимущество: превосходная адгезия покрытия и постоянная толщина пленки.
2. Универсальные методы осаждения
Поддерживает несколько методов PVD, включая:
Тепловое испарение
Electron Beam испарение (E-Beam)
Магнетрон распыляется (DC и RF)
Дуговое испарение
Гибкие возможности процесса позволяют откладывать металлы, керамику, сплавы и композитные материалы.
✔ Идеально подходит для применений, начиная от ультратонких декоративных покрытий до твердых, устойчивых к износостойкой функциональных покрытиях.
3. Точный контроль температуры и процесса
Интегрированные многозонные системы нагрева обеспечивают равномерное нагрев субстрата до 1000 ° C.
Точный контроль температуры обеспечивает оптимальные условия осаждения для различных материалов.
Мониторинг уровней вакуума в реальном времени, скорости потока газа и скорости осаждения через системы управления PLC + HMI.
✔ Результат: надежная, воспроизводимая партия производительности покрытия после партии.
4. Высокая однородность осаждения
Конструкции камер с оптимизированной динамикой потока газа и передовыми целевыми конфигурациями обеспечивают даже толщину пленки на всех поверхностях субстрата.
Подходит для покрытия комплексных геометрий, включая цилиндрические, плоские и контурированные компоненты.
✔ обеспечивает превосходную поверхность и последовательные механические свойства.
5. Настраиваемый дизайн камеры
Стандартные и индивидуальные размеры камеры, доступные для соответствия различным объемам производства.
Параметры для переработки партии, встроенных непрерывных систем и PVD-покрытия с рулоном для гибких подложков.
Модульные пути обновления позволяют пользователям легко добавлять новые источники или технологии по мере развития потребностей.
Приложения
Вакуумная печь PVD широко используется во многих отраслях:
Полупроводническая промышленность: осаждение барьерных слоев, слоев металлизации и функциональных покрытий.
Инструментальные покрытия: твердые покрытия, такие как олово, Tialn и CRN для улучшения срока службы и производительности режущего инструмента.
Оптические покрытия: анти-рефлексивные покрытия, зеркальные покрытия и декоративные пленки.
Медицинские устройства: биосовместимые покрытия для имплантатов и хирургических инструментов.
Автомобильные компоненты: износостойкие и эстетические покрытия для деталей двигателя и внутренней/внешней отделки.
Преимущества вакуумной печи с физическим паром.
Покрытия высокой чистоты с отличной прочностью адгезии.
Широкая совместимость с материалами, вспомогательные металлы, керамика и композиты.
Масштабируемое производство от исследований и разработок небольших партий до массового промышленного производства.
Более низкая эксплуатационная стоимость по сравнению с методами химического отложения паров (CVD).
Экологически чистый процесс с минимальным производством отходов.
Интеллектуальный контроль и мониторинг
Полностью автоматизированные системы ПЛК контролируют весь цикл осаждения.
Возможности мониторинга параметров в реальном времени обеспечивают оптимизацию процесса.
Удаленный доступ и диагностика позволяют быстро устранение неполадок и минимальное время простоя.
Регистрация данных и управление рецептами обеспечивает последовательное качество производства партии в партии.
✔ Smart Manufacturing готова к интеграции Industry 4.0.
Почему выбирают нашу вакуумную печь PVD?
Более 20 лет опыта вакуумных технологий в области проектирования и производства печи.
Аптированные решения для удовлетворения конкретных требований отрасли и применения.
Глобальная установка, обучение и техническая поддержка.
Высокая надежность и длительный срок службы, поддерживаемые комплексными гарантиями и соглашениями о обслуживании.
Проверка поля в полупроводниковых тканях, производителях инструментов, автомобильных OEM-производителей и исследовательских учреждениях.
Contact Now